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測量方法

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  平晶是利用光波干涉現象測量平面度誤差的,故其測量方法稱為平晶干涉法(圖2),也稱技術光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 θ,以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直于被測表面,且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發生干涉而出現明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好;如干涉條紋彎曲,則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量,ω為干涉帶間距。

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