平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差,為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的,用于測量兩高光潔表面的平行度誤差,例如千分尺兩測量面的平行度誤差.平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45~150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03~0.05微米;2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。
什么是平行平晶
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